......DE....FR..................................................................*XDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 1100000/0 1710000/01631863A220060308EP04731579.12004050720051215enenen44054220030516US2006030820061020060308200610G03F 7/039 19900101AFI20060110BHEP G03F 7/004 19900101ALI20060110BHEP deFOTORESISTZUSAMMENSETZUNG FÜR DAS TIEFE UV UND VERFAHREN ZUR BILDERZEUGUNG DARAUSenPHOTORESIST COMPOSITION FOR DEEP UV AND IMAGING PROCESS THEREOFfrCOMPOSITION DE RESINE PHOTOSENSIBLE POUR L'ULTRAVIOLET PROFOND ET PROCEDEAZ Electronic Materials USA Corp.05079360AZ63264PCEP/dol70 Meister AvenueSomerville, NJ 08876USLEE, Sangho2102 Ackman CourtBridgewater, NJ 08807USRAHMAN, Dalil, M.62 Concord Ridge RoadFlemington, NJ 08822USMCKENZIE, Douglas4003 Danberry DriveEasten, PA 18045USKIM, Woo-Kyu29 Stevens CourtBedminster, NJ 07921USPADMANABAN, Munirathna4 Boyer DriveBridgewater, NJ 08807USOBERLANDER, Joseph, E.31 Wexford CourtPhillipsburg, NJ 08865USTOUKHY, Medhat, A.10 Ewing DriveFlemington, NJ 08822USIsenbruck, Günter09200061Isenbruck Bösl Hörschler Wichmann Huhn Patentanwälte Theodor-Heuss-Anlage 12D-68165 MannheimDEDEFREP200400486720040507enWO20041022722004112520044820050210000000