(19)
(11) EP 1 631 983 A1

(12)

(43) Date de publication:
08.03.2006  Bulletin  2006/10

(21) Numéro de dépôt: 04767237.3

(22) Date de dépôt:  03.06.2004
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(1995.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2004/001368
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/004232 (13.01.2005 Gazette  2005/02)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 06.06.2003 FR 0306845

(71) Demandeurs:
  • S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
    38190 Bernin (FR)
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72) Inventeurs:
  • GHYSELEN, Bruno
    F-38170 Seyssinet (FR)
  • AULNETTE, Cécile
    F-38000 Grenoble (FR)
  • BATAILLOU, Benoit
    F-38000 Grenoble (FR)
  • MAZURE, Carlos
    F-38880 St Nazaire les Eymes (FR)
  • MORICEAU, Hubert
    F-38120 Saint Egreve (FR)

(74) Mandataire: Bomer, Françoise Marie et al
Cabinet Régimbeau Espace Performance Bâtiment K
35769 Saint-Gregoire-Cedex
35769 Saint-Gregoire-Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE D'OBTENTION CONCOMITANTE D'UNE PAIRE DE SUBSTRATS RECOUVERTS D'UNE COUCHE UTILE