(19)
(11) EP 1 632 113 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.03.2006  Patentblatt  2006/10

(21) Anmeldenummer: 04739766.6

(22) Anmeldetag:  09.06.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05G 2/00(1990.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/006263
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/110112 (16.12.2004 Gazette  2004/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 11.06.2003 DE 10326279

(71) Anmelder:
  • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
    80539 München (DE)
  • Georg-August-Universität Göttingen
    37073 Göttingen (DE)

(72) Erfinder:
  • FAUBEL, Manfred
    37124 Rosdorf (DE)
  • ABEL, Bernd
    37127 Dransfeld (DE)
  • CHARVAT, Ales
    37077 Göttingen (DE)
  • LOUGOVOI, Eugene
    37073 Göttingen (DE)
  • ASSMANN, Jens
    37085 Göttingen (DE)
  • TROE, Jürgen
    37085 Göttingen (DE)

(74) Vertreter: Hertz, Oliver 
v. Bezold & Sozien Patentanwälte Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) PLASMA-BASIERTE ERZEUGUNG VON RÖNTGENSTRAHLUNG MIT EINEM SCHICHTFÖRMIGEN TARGETMATERIAL