(19)
(11) EP 1 634 326 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.02.2005

(43) Veröffentlichungstag:
15.03.2006  Patentblatt  2006/11

(21) Anmeldenummer: 04732932.1

(22) Anmeldetag:  14.05.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/48(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001012
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/113041 (29.12.2004 Gazette  2004/53)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 16.06.2003 DE 10327360

(71) Anmelder: Curamik Electronics GmbH
92676 Eschenbach (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULZ-HARDER, Jürgen
    91207 Lauf (DE)
  • MITTEREGGER, Kurt
    A-1220 Wien (AT)
  • EXEL, Karl
    64668 Rimbach (DE)
  • WEISSER, Jürgen
    07743 Jena (DE)

(74) Vertreter: Graf, Helmut et al
Postfach 10 08 26
93055 Regensburg
93055 Regensburg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KERAMIK-METALL-SUBSTRATES