(19)
(11) EP 1 637 850 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
24.02.2016  Patentblatt  2016/08

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
06.01.2016  Patentblatt  2016/01

(21) Anmeldenummer: 05450073.1

(22) Anmeldetag:  25.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 3/453(2006.01)
G01N 21/45(2006.01)

(54)

Miniaturized Fourier-transform spectrometer

Spectromètre a transformée de Fourier miniaturisé

Miniaturisiertes Fourier-Transform-Spektrometer


(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 24.06.2004 AT 10782004

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
22.03.2006  Patentblatt  2006/12

(73) Patentinhaber:
  • CTR Carinthian Tech Research AG
    9524 Villach-St. Magdalen (AT)
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Kenda, Andreas, Dr.
    9020 Klagenfurt (AT)
  • Scherf, Werner, Dr.
    9500 Villach (AT)
  • Kraft, Martin, Dr.
    9500 Villach (AT)
  • Schenk, Harald, Dr.
    01139 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Beer & Partner Patentanwälte KG 
Lindengasse 8
1070 Wien
1070 Wien (AT)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A1- 1 123 526
US-B1- 6 384 952
WO-A2-01/73934
   
  • SOLF C, MOHR J UND WALLRABE U: "Miniaturized LIGA Fourier transformation spectrometer" PROCEEDINGS OF IEEE SENSORS, Bd. 2, 2003, Seiten 773-776, XP010691012 ISBN: 0-7803-8133-5
  • ANTILA J, SAARI H UND OJA A: "Micro-electromechanical mirror for Fourier transform interferometry" VTT INFORMATION TECHNOLOGY, [Online] 2003, Seiten 1-6, XP002354532 Gefunden im Internet: URL:http://www.vtt.fi/tte/optical_sensors/ spectrometer-files/Antila_4thRT_on_MTN_pro c_paper_v3.pdf> [gefunden am 2005-11-16]
  • GONZALEZ C ET AL: "Mesoscopic optical instrumentation: a miniature Fourier transform spectrometer" LASERS AND ELECTRO-OPTICS SOCIETY ANNUAL MEETING, 1997. LEOS '97 10TH ANNUAL MEETING. CONFERENCE PROCEEDINGS., IEEE SAN FRANCISCO, CA, USA 10-13 NOV. 1997, NEW YORK, NY, USA,IEEE, US, Bd. 2, 10. November 1997 (1997-11-10), Seiten 474-475, XP010252840 ISBN: 0-7803-3895-2
  • CROCOMBE R: "MEMS technology moves process spectroscopy into a new dimension" SPECTROSCOPY EUROPE, Bd. 16, Nr. 3, 1. Juni 2004 (2004-06-01), Seiten 16-19, XP002354533
  • KUNG H L ET AL: "STANDING-WAVE TRANSFORM SPECTROMETER BASED ON INTEGRATED MEMS MIRROR AND THIN-FILM PHOTODETECTOR" IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS, IEEE SERVICE CENTER, US, Bd. 8, Nr. 1, Januar 2002 (2002-01), Seiten 98-105, XP001116250 ISSN: 1077-260X
  • BHALOTRA S R ET AL: "Parallel-plate MEMS mirror design for large on-resonance displacement", OPTICAL MEMS, 2000 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON 21-24 AUGUST 2000, PISCATAWAY, NJ, USA,IEEE, 21 August 2000 (2000-08-21), pages 93-94, XP010518553, DOI: 10.1109/OMEMS.2000.879642 ISBN: 978-0-7803-6257-4
  • SCHENK H ET AL: "Optical MEMS for advanced spectrometers", OPTICAL MEMS AND THEIR APPLICATIONS CONFERENCE, 2005. IEEE/LEOS INTERN ATIONAL CONFERENCE ON OULU, FINLAND AUG. 1-4, 2005, PISCATAWAY, NJ, USA,IEEE, 1 August 2005 (2005-08-01), pages 117-118, XP010853277, ISBN: 978-0-7803-9278-6
  • MANZARDO ET AL.: "Miniturized time-scanning Fourier transfrom spectrometer based on silicon technology", OPTICS LETTERS, vol. 24, 1999, pages 1705-1707, XP903937,
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).