(19)

(11)

EP 1 639 633 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 12.05.2005 (43) Date de publication: 29.03.2006  Bulletin  2006/13 (21) Numéro de dépôt: 04767314.0 (22) Date de dépôt:  10.06.2004

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(1995.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2004/001449 (87) Numéro de publication internationale: WO 2004/112124 (23.12.2004 Gazette  2004/52)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 10.06.2003 FR 0306920 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: SCHWARZENBACH, Walter F-38330 Saint Nazaire Les Eymes (FR) WAECHTER, Jean-Marc F-38660 Saint Vincent de Mercuze (FR) (74) Mandataire: Callon de Lamarck, Jean-Robert  Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)