(19)
(11) EP 1 639 633 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
12.05.2005

(43) Date de publication:
29.03.2006  Bulletin  2006/13

(21) Numéro de dépôt: 04767314.0

(22) Date de dépôt:  10.06.2004
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(1995.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2004/001449
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2004/112124 (23.12.2004 Gazette  2004/52)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 10.06.2003 FR 0306920

(71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • SCHWARZENBACH, Walter
    F-38330 Saint Nazaire Les Eymes (FR)
  • WAECHTER, Jean-Marc
    F-38660 Saint Vincent de Mercuze (FR)

(74) Mandataire: Callon de Lamarck, Jean-Robert 
Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles
75847 Paris cedex 17
75847 Paris cedex 17 (FR)

   


(54) PROCEDE PERFECTIONNE DE RECUIT DE STABILISATION