(19)
(11) EP 1 641 959 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.04.2006  Patentblatt  2006/14

(21) Anmeldenummer: 04763007.4

(22) Anmeldetag:  17.06.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 28/00(1985.01)
F01D 5/18(1968.09)
 F01D 5/28(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/006556
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/005688 (20.01.2005 Gazette  2005/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE ES GB IT LI PL

(30) Priorität: 09.07.2003 EP 03015495

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BOLMS, Hans-Thomas
    45481 Mülheim (DE)
  • HESELHAUS, Andreas
    40233 Düsseldorf (DE)

   


(54) SCHICHTSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHTSTRUKTUR