(19)
(11) EP 1 644 548 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.04.2006  Patentblatt  2006/15

(21) Anmeldenummer: 04738669.3

(22) Anmeldetag:  11.06.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/12(1985.01)
 B05B 7/20(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001217
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/007921 (27.01.2005 Gazette  2005/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 12.07.2003 DE 10331664

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • DÖRING, Jens-Erich
    41539 Dormagen (DE)
  • SIEGERT, Roberto
    52428 Jülich (DE)
  • VASSEN, Robert
    52134 Herzogenrath (DE)
  • STÖVER, Detlev
    52382 Nierderzier (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM PLASMASPRITZEN SOWIE DAZU GEEIGNETE VORRICHTUNG