(19)
(11) EP 1 644 554 A1

(12)

(43) Date de publication:
12.04.2006  Bulletin  2006/15

(21) Numéro de dépôt: 04767517.8

(22) Date de dépôt:  30.06.2004
(51) Int. Cl.: 
C23C 16/40(1985.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2004/001673
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/012593 (10.02.2005 Gazette  2005/06)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 01.07.2003 FR 0307948

(71) Demandeur: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE
92400 Courbevoie (FR)

(72) Inventeurs:
  • DURANDEAU, Anne
    F-75009 Paris (FR)
  • DURAN, Maxime
    F-75020 Paris (FR)
  • VICTOR, Corinne
    F-95320 Saint Leu la Foret (FR)

(74) Mandataire: Jamet, Vincent et al
Saint-Gobain Recherche 39, quai Lucien Lefranc B.P. 135
93303 Aubervilliers Cedex
93303 Aubervilliers Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE DEPOT D’OXYDE DE TITANE PAR SOURCE PLASMA