(19)
(11) EP 1 644 775 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.06.2005

(43) Veröffentlichungstag:
12.04.2006  Patentblatt  2006/15

(21) Anmeldenummer: 04740612.9

(22) Anmeldetag:  03.07.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 1/00(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/007267
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/008335 (27.01.2005 Gazette  2005/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 11.07.2003 DE 10332059

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • SEITZ, Holger
    98617 Meiningen (DE)
  • WINDPASSINGER, Roman
    07745 Jena (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ANALYSE VON OBJEKTEN IN DER MIKROLITHOGRAPHIE