(19)

(11)

EP 1 647 053 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 09.09.2005 (43) Date de publication: 19.04.2006  Bulletin  2006/16 (21) Numéro de dépôt: 04767896.6 (22) Date de dépôt:  15.07.2004

(51) Int. Cl.:  H01L 21/60(1974.07) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2004/050335 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/010926 (03.02.2005 Gazette  2005/05)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL HR LT LV MK (30) Priorité: 18.07.2003 FR 0350352 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique 75752 Paris 15ème (FR)	(72) Inventeurs: BRUN, Jean F-38800 Champagnier (FR) PUGET, Christiane F-38120 Saint-Egrève (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Société BREVATOME 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)