(19)
(11) EP 1 649 269 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
09.06.2005

(43) Date de publication:
26.04.2006  Bulletin  2006/17

(21) Numéro de dépôt: 04767701.8

(22) Date de dépôt:  16.07.2004
(51) Int. Cl.: 
G01N 23/20(1968.09)
H01J 37/295(1974.07)
 G01N 23/22(1968.09)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2004/001877
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/010479 (03.02.2005 Gazette  2005/05)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 18.07.2003 FR 0308782

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • ROUVIERE, Jean-Luc
    F-38240 MEYLAN (FR)
  • CLEMENT, Laurent
    F-38100 GRENOBLE (FR)
  • PANTEL, Roland
    F-38320 POISAT (FR)

(74) Mandataire: Jacquard, Philippe Jean-Luc et al
Cabinet ORES, 36,rue de St Pétersbourg
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE MESURE DE PARAMETRES PHYSIQUES D AU MOINS UNE PHASE AUX DIMENSIONS MICROMETRIQUES OU NANOMETRIQUES DANS UN SYSTEME COMPOSITE.