(19)

(11)

EP 1 649 509 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 30.06.2005 (43) Date de publication: 26.04.2006  Bulletin  2006/17 (21) Numéro de dépôt: 04767815.6 (22) Date de dépôt:  29.07.2004

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(1995.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2004/002040 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/013338 (10.02.2005 Gazette  2005/06)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 30.07.2003 FR 0309380 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: GHYSELEN, Bruno F-38170 Seyssinet-Pariset (FR) RAYSSAC, Olivier F-38100 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Collin, Jérôme et al Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 75847 Paris Cedex 17 (FR)