(19)
(11) EP 1 651 867 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.05.2006  Patentblatt  2006/18

(21) Anmeldenummer: 04738869.9

(22) Anmeldetag:  07.07.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 43/04(1968.09)
 F04B 19/00(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001447
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/015021 (17.02.2005 Gazette  2005/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.07.2003 DE 10334240

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FUERTSCH, Matthias
    72810 Gomaringen (DE)
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • FINKBEINER, Stefan
    72810 Gomaringen (DE)
  • PINTER, Stefan
    72764 Reutlingen (DE)
  • FISCHER, Frank
    72810 Gomaringen (DE)
  • STAHL, Heiko
    72760 Reutlingen (DE)
  • PIRK, Tjalf
    13589 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS, VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT