ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK................*XDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 1100000/0 1710000/01651867A120060503EP04738869.92004070720060228dedede1033424020030728DE2006050320061820060503200618F04B 43/04 19680901AFI20050223BHEP F04B 19/00 19680901ALI20050223BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS, VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHTenVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS, VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHTfrPROCEDE DE PRODUCTION D'UN COMPOSANT MICROMECANIQUE A UTILISER DE PREFERENCE DANS LA FLUIDIQUE, ET MICROPOMPE POURVUE D'UNE MEMBRANE CONSTITUEE D'UNE COUCHE DE POLYSILICIUMROBERT BOSCH GMBH03900890R.305805Rl/PvPostfach 30 02 2070442 StuttgartDEFUERTSCH, MatthiasListstr. 2472810 GomaringenDEBENZEL, HubertStellenaeckerstr. 372124 PliezhausenDEFINKBEINER, StefanListstr. 2272810 GomaringenDEPINTER, StefanBellinostr. 27/172764 ReutlingenDEFISCHER, FrankRobert-Koch-Str. 872810 GomaringenDESTAHL, HeikoBurkhardt-Weber-Str. 3972760 ReutlingenDEPIRK, TjalfKronprinzenstr. 5813589 BerlinDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPLPTROSESISKTRDE200400144720040707deWO200501502120050217200507