(19)
(11) EP 1 652 228 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.07.2005

(43) Veröffentlichungstag:
03.05.2006  Patentblatt  2006/18

(21) Anmeldenummer: 04766154.1

(22) Anmeldetag:  07.07.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/68(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/051399
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/015611 (17.02.2005 Gazette  2005/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 08.08.2003 DE 10336478

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PUCHER, Gerhard
    A-9500 Villach (AT)
  • MATSCHITSCH, Martin
    A-9181 Feistritz i. Ros (AT)
  • FEICHTER, Herwig
    A-9020 Klagenfurt (AT)
  • GANITZER, Paul
    A-9500 Villach (AT)
  • HALLEGGER, Johann
    A-9184 St.Jakob i./Ros (AT)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter 
Kindermann Patentanwälte Postfach 100234
85593 Baldham
85593 Baldham (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR STABILISIERUNG VON DÜNNEN SCHEIBEN