PROCEDE D' OBTENTION D' UNE COUCHE MINCE DE QUALITE ACCRUE PAR CO-IMPLANTATION ET RECUIT THERMIQUE - Patent 1652230

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EP 1 652 230 A2

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(88)	Date de publication A3:
	24.03.2005

(43)	Date de publication:
	03.05.2006 Bulletin 2006/18

(21)	Numéro de dépôt: 04786008.5

(22)	Date de dépôt: 29.07.2004

(51)

Int. Cl.:

H01L 21/762^(1995.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2004/002038

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2005/013318 (10.02.2005 Gazette 2005/06)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorité:

29.07.2003 FR 0309304
21.10.2003 US 691403

(71)	Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
	38190 Bernin (FR)

(72)	Inventeurs:
	MALEVILLE, Christophe F-38660 La Terrasse (FR) NEYRET, Eric F-38360 Sassenage (FR) BEN MOHAMED, Nadia F-38140 Renage (FR)

(74)	Mandataire: Le Forestier, Eric et al
	Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)

(54)	PROCEDE D' OBTENTION D' UNE COUCHE MINCE DE QUALITE ACCRUE PAR CO-IMPLANTATION ET RECUIT THERMIQUE