(19)
(11) EP 1 654 914 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.06.2005

(43) Veröffentlichungstag:
10.05.2006  Patentblatt  2006/19

(21) Anmeldenummer: 04744676.0

(22) Anmeldetag:  29.07.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05G 2/00(1990.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/IB2004/051323
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/015602 (17.02.2005 Gazette  2005/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.08.2003 DE 10336273

(71) Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V.
5621 BA Eindhoven (NL)

(72) Erfinder:
  • BERGMANN, Klaus, Philips Intellectual Property &
    52066 Aachen (DE)
  • NEFF, Willi, c/o Philips Intellectual Property &
    52066 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Volmer, Georg 
Philips Intellectual Property & Standards GmbH, Postfach 50 04 42
52088 Aachen
52088 Aachen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON EUV- UND WEICHER RÖNTGENSTRAHLUNG