(19)
(11) EP 1 654 914 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
12.08.2009  Patentblatt  2009/33

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
25.03.2009  Patentblatt  2009/13

(21) Anmeldenummer: 04744676.0

(22) Anmeldetag:  29.07.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05G 2/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/IB2004/051323
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/015602 (17.02.2005 Gazette  2005/07)

(54)

VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON EUV- UND WEICHER RÖNTGENSTRAHLUNG

EXTREME UV AND SOFT X RAY GENERATOR

GENERATEUR DE RAYONS ULTRAVIOLETS EXTREMES ET DE RAYONS X MOUS

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.08.2003 DE 10336273

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
10.05.2006  Patentblatt  2006/19

(73) Patentinhaber:
  • Koninklijke Philips Electronics N.V.
    5621 BA Eindhoven (NL)
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
    Benannte Vertragsstaaten:
    DE 

(72) Erfinder:
  • BERGMANN, Klaus, Philips Intellectual Property &
    52066 Aachen (DE)
  • NEFF, Willi, c/o Philips Intellectual Property &
    52066 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Volmer, Georg 
Philips Intellectual Property & Standards GmbH Postfach 50 04 42
52088 Aachen
52088 Aachen (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
US-A- 4 841 556
US-B1- 6 389 106
 US-A- 6 031 241
US-B1- 6 576 917
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).