ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK................*JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2999001/01654914KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFTB8B120090812W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP04744676.0200407292006030720070306dedede1033627320030807DE2009081220093320060510200619200903252009132008100120090812200933H05G 2/00 20060101AFI20060119BHEP deVORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON EUV- UND WEICHER RÖNTGENSTRAHLUNGenEXTREME UV AND SOFT X RAY GENERATORfrGENERATEUR DE RAYONS ULTRAVIOLETS EXTREMES ET DE RAYONS X MOUSUS-A- 4 841 556US-A- 6 031 241US-B1- 6 389 106US-B1- 6 576 917BERGMANN, Klaus, Philips Intellectual Property &Standards GmbH, Weisshausstr. 252066 AachenDENEFF, Willi, c/o Philips Intellectual Property &Standards GmbH Weisshausstr. 252066 AachenDEKoninklijke Philips Electronics N.V.00200769PHDE030431EP1Groenewoudseweg 15621 BA EindhovenNLFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.08770780PHDE030431EP1Hansastrasse 27c80686 MünchenDEDEVolmer, Georg00062721Philips Intellectual Property & Standards GmbH Postfach 50 04 4252088 AachenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPLPTROSESISKTRIB200405132320040729deWO200501560220050217200507