<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE ep-patent-document PUBLIC "-//EPO//EP PATENT DOCUMENT 1.4//EN" "ep-patent-document-v1-4.dtd">
<ep-patent-document id="EP06003086B1" file="EP06003086NWB1.xml" lang="fr" country="EP" doc-number="1655642" kind="B1" date-publ="20091007" status="n" dtd-version="ep-patent-document-v1-4">
<SDOBI lang="fr"><B000><eptags><B001EP>....CHDE....FRGB..ITLI..............................................................................</B001EP><B005EP>J</B005EP><B007EP>DIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) -  2100000/0</B007EP></eptags></B000><B100><B110>1655642</B110><B120><B121>FASCICULE DE BREVET EUROPEEN</B121></B120><B130>B1</B130><B140><date>20091007</date></B140><B190>EP</B190></B100><B200><B210>06003086.3</B210><B220><date>20040202</date></B220><B240><B241><date>20070327</date></B241><B242><date>20070511</date></B242></B240><B250>fr</B250><B251EP>fr</B251EP><B260>fr</B260></B200><B300><B310>03075362</B310><B320><date>20030206</date></B320><B330><ctry>EP</ctry></B330></B300><B400><B405><date>20091007</date><bnum>200941</bnum></B405><B430><date>20060510</date><bnum>200619</bnum></B430><B450><date>20091007</date><bnum>200941</bnum></B450><B452EP><date>20090623</date></B452EP></B400><B500><B510EP><classification-ipcr sequence="1"><text>G04B  17/34        20060101AFI20060824BHEP        </text></classification-ipcr><classification-ipcr sequence="2"><text>G04B  17/06        20060101ALI20060824BHEP        </text></classification-ipcr><classification-ipcr sequence="3"><text>G04D   3/00        20060101ALI20060824BHEP        </text></classification-ipcr></B510EP><B540><B541>de</B541><B542>Spiralfeder der Resonatorunruh</B542><B541>en</B541><B542>Balance-spring resonator spiral</B542><B541>fr</B541><B542>Spiral de résonateur balancier-spiral</B542></B540><B560><B561><text>EP-A- 0 732 635</text></B561><B561><text>DE-U- 7 112 818</text></B561><B561><text>FR-A- 2 386 850</text></B561><B561><text>US-A- 3 430 435</text></B561></B560></B500><B600><B620><parent><pdoc><dnum><anum>04707219.4</anum><pnum>1593004</pnum></dnum><date>20040202</date></pdoc></parent></B620></B600><B700><B720><B721><snm>Thierry, Conus</snm><adr><str>Obereggen 5a</str><city>2543 Lengnau</city><ctry>CH</ctry></adr></B721><B721><snm>Kaspar, Trumpy</snm><adr><str>Amanz Gresslystrasse 19</str><city>4500 Soleure</city><ctry>CH</ctry></adr></B721></B720><B730><B731><snm>ETA SA Manufacture Horlogère Suisse</snm><iid>00238279</iid><irf>Cas 2562/GT/CH</irf><adr><str>Schild-Rust-Strasse 17</str><city>2540 Grenchen</city><ctry>CH</ctry></adr></B731></B730><B740><B741><snm>Ravenel, Thierry Gérard Louis</snm><sfx>et al</sfx><iid>09360211</iid><adr><str>ICB 
Ingénieurs Conseils en Brevets SA 
Fbg de l'Hôpital 3</str><city>2001 Neuchâtel</city><ctry>CH</ctry></adr></B741></B740></B700><B800><B840><ctry>CH</ctry><ctry>DE</ctry><ctry>FR</ctry><ctry>GB</ctry><ctry>IT</ctry><ctry>LI</ctry></B840><B880><date>20060927</date><bnum>200639</bnum></B880></B800></SDOBI><!-- EPO <DP n="1"> -->
<description id="desc" lang="fr">
<p id="p0001" num="0001">La présente invention a pour objet un spiral plat de résonateur balancier-spiral obtenu par un procédé de fabrication permettant d'améliorer l'isochronisme en agissant d'une part sur des paramètres de construction du spiral en tant que tel, d'autre part sur un mode de fixation sur l'axe de balancier permettant de réduire l'écart géométrique inhérent aux modes de fixation usuels entre le point d'origine de la spirale d'Archimède et l'axe de rotation du balancier. Dans la description qui suit, on entend par isochronisme, les écarts de marche en fonction des variations d'amplitude d'oscillation du balancier, ainsi que les écarts de marche entre la position horizontale et les positions verticales de la montre.</p>
<p id="p0002" num="0002">De façon connue un spiral, ayant des spires de section et de pas uniformes, permet, par une conformation particulière de la courbe à l'intérieur et de la courbe à l'extérieur dans le plan du spiral ou le plus souvent dans des plans différents, d'obtenir un développement concentrique du spiral et d'avoir un déplacement du centre de masse du spiral et une variation de l'inertie du spiral au cours du développement minimisant les perturbations de marche en fonction de l'amplitude et des positions du spiral par rapport au vecteur gravité. Outre le fait que la réalisation d'un tel spiral exige une grande habilité, l'encombrement en hauteur constitue un inconvénient certain pour son utilisation dans des montres bracelets devant avoir, pour des raisons évidentes d'esthétique, une épaisseur la moins grande possible.</p>
<p id="p0003" num="0003">Pour cette raison on préfère encore utiliser un spiral plat, tel que celui représenté à la <figref idref="f0001">figure 1</figref>. Un tel spiral est fabriqué de façon connue par estrapadage à partir d'un fil ou d'une bande métallique de section constante sur toute sa longueur, et possède au repos un pas constant entre les spires. Comme on le voit sur la <figref idref="f0001">figure 1</figref>, la courbe à l'intérieur est fixée, par exemple par soudure laser, sur une virole 20, chassée sur l'axe 9 d'un balancier 8.</p>
<p id="p0004" num="0004">Par rapport à cet état de la technique, en ce qui concerne le pas entre les spires, il convient toutefois de mentionner le brevet <patcit id="pcit0001" dnum="CH465537"><text>CH 465 537</text></patcit>, déposé en 1966, dans lequel est décrit un procédé permettant de fabriquer à partir d'une bande ou d'un fil métallique de section constante, enroulé dans le sillon d'une matrice, puis recuit et trempé, des spiraux ayant une configuration quelconque, en particulier avec un pas variable. A la meilleure connaissance de la demanderesse, aucun produit de ce type n'a été mis sur le marché, ce qui permet de supposer que le procédé de fabrication n'était, techniquement ou économiquement, pas satisfaisant.<!-- EPO <DP n="2"> --></p>
<p id="p0005" num="0005">En ce qui concerne la variation de l'épaisseur d'une bande métallique enroulée, on peut mentionner le <patcit id="pcit0002" dnum="GB1020456A"><text>brevet GB 1020 456</text></patcit> qui décrit la fabrication d'un ressort de barillet par soudures bout à bout de lames ayant des sections croissantes depuis le centre jusqu'à la périphérie. Un tel ressort est conçu, à encombrement égal, pour augmenter la réserve de marche, mais il est bien évident qu'en appliquant ce procédé de fabrication à un spiral, la présence de soudures ne permettrait pas d'avoir un développement concentrique et d'obtenir un isochronisme reproductible d'un spiral à l'autre.</p>
<p id="p0006" num="0006">Ce même principe avait d'ailleurs déjà été proposé dans un <patcit id="pcit0003" dnum="US209642A"><text>brevet US 209 642</text></patcit> de 1878 pour améliorer l'isochronisme d'un spiral construit avec une spire à l'intérieur de plus faible section. Comme on le verra dans la description détaillée, l'expérience contredit cette affirmation.</p>
<p id="p0007" num="0007">En ce qui concerne le mode de fixation de la virole à l'axe du balancier, les documents <patcit id="pcit0004" dnum="US3430435A"><text>US 3,430,435</text></patcit> et <patcit id="pcit0005" dnum="FR2386580"><text>FR 2 386 580</text></patcit> proposent des rondelles élastiques formant virole dont seulement une partie du contour de l'ouverture centrale entre en contact avec l'axe de balancier.</p>
<p id="p0008" num="0008">L'invention a donc pour objet un spiral plat dont l'extrémité de la courbe à l'intérieur comporte une rondelle autobloquante formant virole dont au moins une partie du contour de l'ouverture centrale permet d'assujettir ledit spiral à un axe de balancier, et dont le contour extérieur de ladite rondelle est fermé, caractérisé <b>en ce que</b> la paroi intérieure du contour de l'ouverture comporte une succession de zones élastiques discrètes, lesdites zones élastiques étant définies par des lumières formées à travers la rondelle au droit desdites zones élastiques et disposées entre le contour extérieur de la rondelle et la paroi intérieure dudit au moins une partie du contour de l'ouverture.</p>
<p id="p0009" num="0009">L'invention concerne également un spiral plat, formé d'une lame composée d'une succession de spires ayant entre elles un pas "p", pour un mécanisme réglant à balancier, ledit spiral étant obtenu par un procédé de fabrication qui permet de se rapprocher d'un isochronisme parfait. Les spires de section rectangulaire sont formées en un seul matériau continu depuis la courbe à l'intérieur jusqu'à la courbe à l'extérieur, mais présentent, sur certaines portions comprises entre l'attache au centre et l'attache à l'extérieur, une section "s" non uniforme et/ou possèdent une ou plusieurs portions conformées en dehors du tracé d'une spirale parfaite. L'expression "section non uniforme" signifie que, pour une lame ayant une hauteur "h" constante, l'épaisseur "e" d'une portion choisie peut être soit supérieure, soit inférieure à l'épaisseur du reste de la lame constituant le spiral.<!-- EPO <DP n="3"> --></p>
<p id="p0010" num="0010">Comme cela sera expliqué plus loin dans la description détaillée, le procédé de fabrication fait appel aux micro-techniques, tel que la photolithographie et l'électrodéposition d'un métal ou d'un alliage, ou le micro-usinage d'une plaquette d'épaisseur "h" réalisé en un matériau amorphe ou cristallin tel que du silicium sous forme monocristalline ou polycristalline.</p>
<p id="p0011" num="0011">Selon un premier mode de réalisation, la section "s" des spires augmente progressivement depuis la courbe à l'extérieur jusqu'à la courbe à l'intérieur.</p>
<p id="p0012" num="0012">Selon un deuxième mode de réalisation, qui peut être combiné avec le premier mode de réalisation, le pas "p" entre les spires diminue régulièrement depuis la courbe à l'extérieur jusqu'à la courbe à l'intérieur.<!-- EPO <DP n="4"> --></p>
<p id="p0013" num="0013">Selon encore un autre mode de réalisation, il est possible de sélectionner une portion de spire déterminée et de faire localement varier la largeur de lame pour agir sur d'autres paramètres favorables à l'isochronisme. Cette augmentation peut être réalisée par exemple sur la courbe à l'intérieur, sur la courbe à l'extérieur ou en même temps sur les deux courbes, ou en de multiples autres endroits sur d'autres portions du spiral.</p>
<p id="p0014" num="0014">Il est également possible d'obtenir un spiral ayant une portion de spire s'écartant de la courbe d'une spirale parfaite, en ayant par exemple une courbe à l'intérieur de type Grossmann.</p>
<p id="p0015" num="0015">L'invention offre en outre l'avantage de pouvoir, en même temps que le spiral en tant que tel, fabriquer le moyen de fixation sur l'axe de balancier, ce moyen de fixation étant formé par une rondelle autoblocante ayant au centre, par exemple, un contour en étoile et comportant des évidements dans son pourtour pour lui conférer une élasticité suffisante au montage et éviter un écart entre le point d'origine de la spirale d'Archimède et l'axe de rotation du balancier.</p>
<p id="p0016" num="0016">Pour un spiral en métal ou alliage, le procédé de fabrication consiste fondamentalement à appliquer la technique LIGA pour former un moule correspondant au profil souhaité par le spiral. Compte-tenu des propriétés des photorésists actuellement disponibles sur le marché, il est possible d'ajuster l'épaisseur de la couche de photorésist pour obtenir toute la gamme des spiraux avec des hauteurs de lame allant jusqu'à quelques dixièmes de millimètre.</p>
<p id="p0017" num="0017">Pour un spiral en un matériau amorphe ou cristallin, le procédé consiste fondamentalement à effectuer une gravure d'une plaquette dudit matériau à travers des masques.</p>
<p id="p0018" num="0018">D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description de différents exemples de réalisation donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins annexés dans lesquels:
<ul id="ul0001" list-style="dash" compact="compact">
<li>la <figref idref="f0001">figure 1</figref> représente un balancier-spiral de l'art antérieur;</li>
<li>la <figref idref="f0001">figure 2</figref> est une représentation agrandie du spiral de la <figref idref="f0001">figure 1</figref>;</li>
<li>la <figref idref="f0002">figure 3A</figref> correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral représenté à la <figref idref="f0001">figure 2</figref>;</li>
<li>la <figref idref="f0002">figure 3B</figref> correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec un autre spiral de l'art antérieur;</li>
<li>la <figref idref="f0003">figure 4</figref> représente un premier mode de réalisation d'un spiral selon l'invention;</li>
<li>la <figref idref="f0003">figure 5</figref> correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral de la <figref idref="f0003">figure 4</figref>;<!-- EPO <DP n="5"> --></li>
<li>la <figref idref="f0004">figure 6</figref> représente un deuxième mode de réalisation d'un spiral selon l'invention;</li>
<li>la <figref idref="f0004">figure 7</figref> correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral de la <figref idref="f0004">figure 6</figref>;</li>
<li>la <figref idref="f0005">figure 8</figref> représente un troisième mode de réalisation d'un spiral selon l'invention;</li>
<li>la <figref idref="f0005">figure 9</figref> correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral de la <figref idref="f0005">figure 8</figref>;</li>
<li>la <figref idref="f0006">figure 10</figref> représente un mode de fixation d'un spiral selon l'invention, et</li>
<li>les <figref idref="f0006">figures 10A à 10E</figref> représentent d'autres formes de fixation au centre.</li>
</ul></p>
<p id="p0019" num="0019">La <figref idref="f0001">figure 1</figref>, partiellement arrachée, représente un balancier-spiral de l'art antérieur évoqué en préambule. Ses caractéristiques serviront de référence pour montrer les progrès significatifs apportés par l'invention au niveau de l'isochronisme. Le spiral 10 a l'extrémité de sa courbe au centre 11 fixée de façon classique sur une virole 20 chassée sur l'axe 9 du balancier 8 pivoté entre la platine 7 et le coq 6. Le dispositif réglant comporte en outre de façon connue un porte-piton 5 permettant de fixer la courbe à l'extérieur 14 du spiral 10 et éventuellement une raquette 4 pourvue de goupilles 3 et d'une queue de raquette 2 en regard d'une graduation 1. Sur la <figref idref="f0001">figure 2</figref>, qui est une représentation agrandie du spiral 10 seul, on voit que ledit spiral est formé de 14 spires ayant une section rectangulaire uniforme, par exemple de 0,05 x 0,30 mm depuis la courbe au centre 11 jusqu'à la courbe à l'extérieur 14, et que les spires présentent entre elles un pas constant p. Le point de fixation de la courbe au centre 11 est situé à une distance <u style="single">r</u> du centre de pivotement du spiral, et celui de la courbe à l'extérieur 14, à une distance R, avant le coude 16. Dans cet exemple, <u style="single">r</u> et R ont respectivement pour valeurs 0,57 mm et 2,46 mm. Ces valeurs de <u style="single">r</u> et R, ainsi que nombre de spires, seront les mêmes dans la suite de la description, sauf indications contraires.</p>
<p id="p0020" num="0020">En se référant maintenant à la <figref idref="f0002">figure 3A</figref> on a représenté le diagramme d'isochronisme d'un spiral ayant les caractéristiques sus-indiquées. On a porté en abscisses l'amplitude d'oscillation du balancier exprimée en degrés par rapport à sa position d'équilibre. En ordonnées on a reporté l'écart de marche exprimé en seconde par jour. Ce diagramme comporte cinq courbes correspondant aux positions usuelles de mesures avec le balancier-spiral, horizontal (courbe 1), puis vertical (courbes 2 à 5, par rotation de 90° d'une courbe à l'autre). Le tracé en pointillés correspond à l'enveloppe de toutes les positions les plus défavorables. L'appréciation de l'écart de marche s'effectue traditionnellement en prenant en considération l'écart maximum de l'enveloppe pour une amplitude comprise entre 200° et 300°. Sur le diagramme de la<!-- EPO <DP n="6"> --> <figref idref="f0002">figure 3A</figref>, on observe que cet écart maximum, avec ce spiral de référence de l'art antérieur, est de 4,7 s/j pour une amplitude de 236°.</p>
<p id="p0021" num="0021">A la <figref idref="f0002">figure 3B</figref> on a représenté le diagramme obtenu avec un spiral (non représenté) ayant les caractéristiques mentionnées dans le <patcit id="pcit0006" dnum="US209642A"><text>brevet US 209 642</text></patcit> cité en préambule, à savoir avec une épaisseur de lame variant entre 0,046 mm pour la courbe à l'extérieur 14 et 0,036 mm pour la courbe à l'intérieur 11. Contrairement à ce qu'on peut attendre d'après l'enseignement dudit brevet on observera que l'écart maximum a augmenté jusqu'à 7,7 s/j pour une amplitude de 230°.</p>
<p id="p0022" num="0022">En se référant maintenant aux <figref idref="f0003">figures 4 et 5</figref> on décrit ci-après un premier mode de réalisation d'un spiral dont la fabrication par micro-usinage (photolithographie et croissance galvanique, ou gravure d'un matériau amorphe ou cristallin permet d'obtenir une géométrie favorable à l'isochronisme. Comme on peut le voir, le pas <u style="single">p</u> entre une spire et la suivante diminue au fur et à mesure qu'on se rapproche du centre du spiral. Inversement, la section augmente depuis la courbe à l'extérieur 14 jusqu'à la courbe à l'intérieur 11. Etant donné que les procédés de fabrication confèrent à la lame une hauteur constante, la variation de section correspond en fait à une variante de l'épaisseur qui passe de 0,036 mm pour la courbe à l'extérieur 14 à 0,046 mm pour la courbe à l'intérieur 11.</p>
<p id="p0023" num="0023">Sur le diagramme représenté à la <figref idref="f0003">figure 5</figref>, on voit que l'écart maximum est abaissé à 2,8 s/j pour une amplitude de 242°. On obtiendrait encore un résultat favorable sur cet écart maximum en agissant uniquement, soit sur le pas <u style="single">p</u>, soit sur l'épaisseur <u style="single">e</u> de la lame.</p>
<p id="p0024" num="0024">Les <figref idref="f0004">figures 6 et 7</figref> correspondent à une deuxième mode de réalisation de type "Michel" pour la courbe à l'extérieur 14 et pour la courbe à l'intérieur 11. Les spires ont entre elles un pas constant et une section constante correspondant à une épaisseur constante de 0,042 mm, à l'exception de deux portions de spires pour lesquelles l'épaisseur est portée à 0,056 mm :
<ul id="ul0002" list-style="dash" compact="compact">
<li>une portion 12 de la courbe à l'intérieur 11 sur un secteur angulaire d'environ 80° dont la partie médiane se trouve sensiblement à - 110° d'un axe de référence Ox, et</li>
<li>une portion 15 de la courbe à l'extérieur 14 sur un secteur angulaire d'environ 20° dont la partie médiane se trouve sensiblement à + 115° de l'axe de référence Ox.</li>
</ul></p>
<p id="p0025" num="0025">Sur le diagramme représenté à la <figref idref="f0004">figure 7</figref> on voit que l'écart maximum n'est plus que de 1,8 s/j. La valeur de la surépaisseur et les positionnements sur les spires ne sont donnés ci-dessus qu'à titre illustratif, et il est bien évident que l'homme de métier peut choisir d'avoir un plus grand nombre de zones de surépaisseur en différents endroits.<!-- EPO <DP n="7"> --></p>
<p id="p0026" num="0026">Les <figref idref="f0005">figures 8 et 9</figref> correspondent à un troisième mode de réalisation dans lequel la courbe à l'intérieur 11 est de type Grossmann 13, c'est-à-dire en ayant une géométrie telle que celle décrite dans l'ouvrage "Théorie générale de l'horlogerie" de L. Defossez. Une telle géométrie est très délicate à obtenir par déformation d'une lame métallique. Le procédé de fabrication selon l'invention permet par contre d'obtenir très facilement une telle configuration sans l'intervention d'un personnel hautement qualifié. Le diagramme représenté à la <figref idref="f0005">figure 9</figref> montre que l'écart maximum à 300° n'est que de 2,1 s/j.</p>
<p id="p0027" num="0027">Bien évidemment, compte tenu de la liberté de configuration que donnent les procédés de fabrication selon l'invention, il est possible de combiner les modes de réalisations précédemment décrits pour obtenir un spiral selon l'invention ayant un isochronisme amélioré.</p>
<p id="p0028" num="0028">A la <figref idref="f0006">figure 10</figref> on a représenté un spiral correspondant au premier mode de réalisation (<figref idref="f0003">figure 4</figref>) dans lequel la virole 20 est remplacée par une rondelle autobloquante 17 formée en même temps que le spiral 10. Cette rondelle 17 présente en son centre un contour 19 tel qu'il permet de bloquer sans jeu l'axe 9 du balancier 8 en ayant une certaine élasticité procurée par des lumières 18 réparties autour du contour de blocage 19 représenté en étoile à la <figref idref="f0006">figure 10</figref>. Les <figref idref="f0006">figures 10A à 10E</figref> montrent d'autres conformations possibles de la rondelle autobloquante 17 avec un contour de blocage 19 en triangle, en carré, hexagonal, circulaire ou en ogive. Lorsqu'on réalise l'ensemble spiral-rondelle autobloquante par photolithographie et croissance galvanique on peut avantageusement, au moyen d'une étape supplémentaire, réaliser ladite rondelle autobloquante 17 avec une épaisseur supérieure à la hauteur de la lame pour obtenir une meilleure tenue du spiral 10 sur l'axe 9 du balancier.</p>
<p id="p0029" num="0029">Un spiral selon l'invention en un matériau amorphe ou cristallin tel que du silicium peut être fabriqué en adaptant les procédés de micro-usinage déjà utilisés par exemple pour la fabrication de circuits intégrés ou d'accéléromètres à partir d'une plaquette de silicium. On peut notamment se référer aux procédés décrits dans les <patcit id="pcit0007" dnum="US4571661A"><text>brevets US 4 571 661</text></patcit> et <patcit id="pcit0008" dnum="US5576250A"><text>US 5 576 250</text></patcit> concernant des accéléromètres. Le procédé consiste fondamentalement en les étapes suivantes :
<ul id="ul0003" list-style="dash" compact="compact">
<li>appliquer une plaquette de silicium sur un substrat en créant une interface en SiO<sub>2</sub> isolante;</li>
<li>amincir la plaquette jusqu'à la hauteur "h" de lame désirée selon la méthode décrite par <nplcit id="ncit0001" npl-type="s"><text>C. Harendt et al. ("Wafer bonding and its application to silicon-on-insulator fabrication" Technical Digest MNE'90, 2nd Workshop, Berlin, November 90, p. 81-86</text></nplcit>);<!-- EPO <DP n="8"> --></li>
<li>former par photolithographie un masquage correspondant au contour de spiral désiré;</li>
<li>effectuer la gravure de la plaquette de silicium jusqu'au substrat, selon des procédés connus, telle qu'une attaque chimique par voie humide, un usinage à sec par plasma, ou une combinaison des deux; et</li>
<li>séparer le spiral du substrat.</li>
</ul></p>
<p id="p0030" num="0030">Compte-tenu des très petites dimensions d'un spiral, il est évidemment possible et avantageux de les fabriquer par lot à partir d'une unique plaquette de silicium.</p>
<p id="p0031" num="0031">Pour fabriquer un spiral selon l'invention en métal ou en alliage, on fait appel à la technique LIGA connue depuis le milieu des années 70. Dans une première étape le procédé consiste fondamentalement à étaler sur un substrat préalablement revêtu d'une couche sacrificielle un photorésist positif ou négatif sur une épaisseur correspondant à la hauteur "h" de lame désirée et former au moyen d'un masque par photolithographie et attaque chimique une structure en creux correspondant au contour désiré pour le spiral. Dans une deuxième étape , on remplit ladite structure en creux d'un métal ou d'un alliage métallique soit par électrodéposition comme indiqué par exemple dans le <patcit id="pcit0009" dnum="US4661212A"><text>brevet US 4 661 212</text></patcit>, soit par compression et frittage de nanoparticules, comme indiqué par exemple dans la demande de brevet <patcit id="pcit0010" dnum="US20010038803A"><text>US 2001/0038803</text></patcit>.</p>
<p id="p0032" num="0032">Dans une dernière étape on libère le spiral du substrat par élimination de la couche sacrificielle.</p>
</description><!-- EPO <DP n="9"> -->
<claims id="claims01" lang="fr">
<claim id="c-fr-01-0001" num="0001">
<claim-text>Spiral de résonateur balancier-spiral dont l'extrémité de la courbe à l'intérieur (11) comporte une rondelle autobloquante (17) formant virole dont au moins une partie du contour (19), de l'ouverture centrale permet d'assujettir ledit spiral à un axe de balancier, et dont le contour extérieur de ladite rondelle (17) est fermé, <b>caractérisé en ce que</b> la paroi intérieure du contour (19) de l'ouverture comporte une succession de zones élastiques discrètes, lesdites zones élastiques étant définies par des lumières (18) formées à travers la rondelle (17) au droit desdites zones élastiques et disposées entre le contour extérieur de la rondelle et la paroi intérieure dudit au moins une partie du contour de l'ouverture.</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0002" num="0002">
<claim-text>Spiral selon la revendication 1, <b>caractérisé en ce que</b> le contour (19) de l'ouverture a la forme d'un polygone régulier.</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0003" num="0003">
<claim-text>Spiral selon la revendication 2, <b>caractérisé en ce que</b> le polygone régulier est choisi parmi le triangle, le carré et l'hexagone.</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0004" num="0004">
<claim-text>Spiral selon la revendication 2 ou 3, <b>caractérisé en ce que</b> les lumières (18) ont une forme oblongue s'étendant et suivant les côtés du polygone régulier.</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0005" num="0005">
<claim-text>Spiral selon la revendication 1, <b>caractérisé en ce que</b> ledit au moins une partie du contour (19) de l'ouverture a une forme circulaire ou en étoile et <b>en ce que</b> les lumières (16) disposées de place en place ont une forme de secteurs annulaires.</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0006" num="0006">
<claim-text>Spiral selon la revendication 5, <b>caractérisé en ce que</b> des passages traversants font communiquer l'ouverture et la partie médiane des secteurs circulaires (18).</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0007" num="0007">
<claim-text>Spiral selon l'une quelconque des revendications précédentes, <b>caractérisé en ce qu'</b>il est réalisé en même temps que la rondelle autobloquante (17)</claim-text></claim>
<claim id="c-fr-01-0008" num="0008">
<claim-text>Spiral selon une quelconques des revendications précédentes, <b>caractérisé en ce qu'</b>il est réalisé en un matériau n'ayant pas de domaine plastique, tel que le verre, le quartz ou le silicium.</claim-text></claim>
</claims><!-- EPO <DP n="10"> -->
<claims id="claims02" lang="en">
<claim id="c-en-01-0001" num="0001">
<claim-text>Sprung balance resonator spring wherein the end of the inner terminal curve (11) includes a self-blocking washer (17) forming the collet, at least one part of the contour (19) of the central aperture of which can attach said balance spring to a balance staff and the external contour of said washer (17) is closed, <b>characterized in that</b> the inner wall of the contour (19) of the aperture includes a series of discrete elastic zones, said elastic zones being defined by holes (18) formed orthogonally through the washer (17) from said elastic zones and arranged between the external contour of the washer and the inner wall of said at least one part of the aperture contour.</claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0002" num="0002">
<claim-text>Balance spring according to claim 1, <b>characterized in that</b> the aperture contour (19) has the shape of a regular polygon.</claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0003" num="0003">
<claim-text>Balance spring according to claim 2, <b>characterized in that</b> the regular polygon is selected from among a triangle, a square and a hexagon.</claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0004" num="0004">
<claim-text>Balance spring according to claim 2 or 3, <b>characterized in that</b> the holes (18) have an oblong shape extending and following the sides of the regular polygon.</claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0005" num="0005">
<claim-text>Balance spring according to claim 1, <b>characterized in that</b> said at least one part of the aperture contour (19) is circular or star shaped and <b>in that</b> the holes (18) are arranged in places and have the shape of annular sectors.</claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0006" num="0006">
<claim-text>Balance spring according to claim 5, <b>characterized in that</b> the aperture and the median part of the circular sectors (18) communicate via through passages.<!-- EPO <DP n="11"> --></claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0007" num="0007">
<claim-text>Balance spring according to any of the preceding claims, <b>characterized in that</b> it is made at the same time as the self-blocking washer (17).</claim-text></claim>
<claim id="c-en-01-0008" num="0008">
<claim-text>Balance spring according to any of the preceding claims, <b>characterized in that</b> it is made of a material that has no plastic domain, such as glass, quartz or silicon.</claim-text></claim>
</claims><!-- EPO <DP n="12"> -->
<claims id="claims03" lang="de">
<claim id="c-de-01-0001" num="0001">
<claim-text>Spiralfeder eines Unruh-Spiralfeder-Resonators, in welcher Spiralfeder das Ende der Innenkurve (11) eine selbstsperrende Unterlagscheibe (17), welche die Spiralrolle bildet, umfasst, wobei wenigstens ein Abschnitt des Umrisses (19) der mittigen Öffnung dieser Letzteren ermöglicht, die Spiralfeder an einer Unruhwelle zu befestigen, und wobei der äussere Umriss der Unterlagscheibe (17) geschlossen ist, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> die Innenwandung des Umrisses (19) der Öffnung eine Folge von diskreten elastischen Zonen umfasst, wobei diese elastischen Zonen durch Schlitzlöcher (18) definiert sind, die in der Unterlagscheibe (17) gegenüber den elastischen Zonen ausgebildet sind und zwischen dem äusseren Umriss der Unterlagscheibe und der Innenwandung des wenigstens einen Abschnitts des Umrisses der Öffnung angeordnet sind.</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0002" num="0002">
<claim-text>Spiralfeder nach Anspruch 1, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> der Umriss (19) der Öffnung die Form eines regelmässigen Vielecks aufweist.</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0003" num="0003">
<claim-text>Spiralfeder nach Anspruch 2, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> das regelmässige Vieleck unter einem Dreieck, einem Quadrat und einem Sechseck gewählt wird.</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0004" num="0004">
<claim-text>Spiralfeder nach Anspruch 2 oder 3, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> die Schlitzlöcher (18) eine langgestreckte Form aufweisen, die den Seiten des regelmässigen Vielecks folgt.</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0005" num="0005">
<claim-text>Spiralfeder nach Anspruch 1, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> der wenigstens eine Abschnitt des Umrisses (19) der Öffnung kreis- oder<!-- EPO <DP n="13"> --> sternförmig ist und dass die stellenweise angeordneten Schlitzlöcher (18) die Form von ringförmigen Sektoren aufweisen.</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0006" num="0006">
<claim-text>Spiralfeder nach Anspruch 5, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> Durchgänge die Öffnung und den mittleren Teil der kreisförmigen Sektoren (18) miteinander in Verbindung bringen.</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0007" num="0007">
<claim-text>Spiralfeder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> sie gleichzeitig ausgeführt wird wie die selbstsperrende Unterlagscheibe (17).</claim-text></claim>
<claim id="c-de-01-0008" num="0008">
<claim-text>Spiralfeder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, <b>dadurch gekennzeichnet, dass</b> sie aus einem Werkstoff ohne plastischen Bereich, wie zum Bleispiel Glas, Quarz oder Silizium, ausgeführt ist.</claim-text></claim>
</claims><!-- EPO <DP n="14"> -->
<drawings id="draw" lang="fr">
<figure id="f0001" num="1,2"><img id="if0001" file="imgf0001.tif" wi="134" he="233" img-content="drawing" img-format="tif"/></figure><!-- EPO <DP n="15"> -->
<figure id="f0002" num="3a,3b"><img id="if0002" file="imgf0002.tif" wi="165" he="220" img-content="drawing" img-format="tif"/></figure><!-- EPO <DP n="16"> -->
<figure id="f0003" num="4,5"><img id="if0003" file="imgf0003.tif" wi="165" he="217" img-content="drawing" img-format="tif"/></figure><!-- EPO <DP n="17"> -->
<figure id="f0004" num="6,7"><img id="if0004" file="imgf0004.tif" wi="165" he="216" img-content="drawing" img-format="tif"/></figure><!-- EPO <DP n="18"> -->
<figure id="f0005" num="8,9"><img id="if0005" file="imgf0005.tif" wi="165" he="224" img-content="drawing" img-format="tif"/></figure><!-- EPO <DP n="19"> -->
<figure id="f0006" num="10,10A,10B,10C,10D,10E,"><img id="if0006" file="imgf0006.tif" wi="165" he="223" img-content="drawing" img-format="tif"/></figure>
</drawings>
<ep-reference-list id="ref-list">
<heading id="ref-h0001"><b>RÉFÉRENCES CITÉES DANS LA DESCRIPTION</b></heading>
<p id="ref-p0001" num=""><i>Cette liste de références citées par le demandeur vise uniquement à aider le lecteur et ne fait pas partie du document de brevet européen. Même si le plus grand soin a été accordé à sa conception, des erreurs ou des omissions ne peuvent être exclues et l'OEB décline toute responsabilité à cet égard.</i></p>
<heading id="ref-h0002"><b>Documents brevets cités dans la description</b></heading>
<p id="ref-p0002" num="">
<ul id="ref-ul0001" list-style="bullet">
<li><patcit id="ref-pcit0001" dnum="CH465537"><document-id><country>CH</country><doc-number>465537</doc-number></document-id></patcit><crossref idref="pcit0001">[0004]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0002" dnum="GB1020456A"><document-id><country>GB</country><doc-number>1020456</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0002">[0005]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0003" dnum="US209642A"><document-id><country>US</country><doc-number>209642</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0003">[0006]</crossref><crossref idref="pcit0006">[0021]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0004" dnum="US3430435A"><document-id><country>US</country><doc-number>3430435</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0004">[0007]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0005" dnum="FR2386580"><document-id><country>FR</country><doc-number>2386580</doc-number></document-id></patcit><crossref idref="pcit0005">[0007]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0006" dnum="US4571661A"><document-id><country>US</country><doc-number>4571661</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0007">[0029]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0007" dnum="US5576250A"><document-id><country>US</country><doc-number>5576250</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0008">[0029]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0008" dnum="US4661212A"><document-id><country>US</country><doc-number>4661212</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0009">[0031]</crossref></li>
<li><patcit id="ref-pcit0009" dnum="US20010038803A"><document-id><country>US</country><doc-number>20010038803</doc-number><kind>A</kind></document-id></patcit><crossref idref="pcit0010">[0031]</crossref></li>
</ul></p>
<heading id="ref-h0003"><b>Littérature non-brevet citée dans la description</b></heading>
<p id="ref-p0003" num="">
<ul id="ref-ul0002" list-style="bullet">
<li><nplcit id="ref-ncit0001" npl-type="s"><article><author><name>C. Harendt et al.</name></author><atl>Wafer bonding and its application to silicon-on-insulator fabrication</atl><serial><sertitle>Technical Digest MNE'90</sertitle><vid>90</vid></serial><location><pp><ppf>81</ppf><ppl>86</ppl></pp></location></article></nplcit><crossref idref="ncit0001">[0029]</crossref></li>
</ul></p>
</ep-reference-list>
</ep-patent-document>
