NANO-OBJETS METALLIQUES, FORMES SUR DES SURFACES DE SEMICONDUCTEURS, ET PROCEDE DE FABRICATION DE CES NANO-OBJETS - Patent 1656473

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EP 1 656 473 A2

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(88)	Date de publication A3:
	08.04.2004

(43)	Date de publication:
	17.05.2006 Bulletin 2006/20

(21)	Numéro de dépôt: 03762740.3

(22)	Date de dépôt: 04.07.2003

(51)

Int. Cl.:

C30B 33/00^(1980.01)
H01L 51/05^(0000.00)

H01L 21/02^(1974.07)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2003/002093

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2004/005593 (15.01.2004 Gazette 2004/03)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

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Priorité:

05.07.2002 FR 0208457

(71)	Demandeur: Commisariat à l'énergie Atomique
	75752 Paris 15ème (FR)

(72)	Inventeurs:
	D'ANGELO, Marie 75014 Paris (FR) ARISTOV, Victor Chernogolovka 142432 Moscou District (RU) SOUKIASSIAN, Patrick 78470 SAINT REMY LES CHEVREUSES (FR)

(74)	Mandataire: Poulin, Gérard et al
	Société BREVATOME 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	NANO-OBJETS METALLIQUES, FORMES SUR DES SURFACES DE SEMICONDUCTEURS, ET PROCEDE DE FABRICATION DE CES NANO-OBJETS