(19)

(11)

EP 1 661 172 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 14.07.2005 (43) Veröffentlichungstag: 31.05.2006  Patentblatt  2006/22 (21) Anmeldenummer: 04764533.8 (22) Anmeldetag:  20.08.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/316(1974.07) H01L 29/51(1995.01) H01L 27/112(1990.01) C23C 16/40(1985.01) H01L 27/108(1990.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/009559 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/024930 (17.03.2005 Gazette  2005/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 28.08.2003 DE 10340202 (71) Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik 15236 Frankfurt (Oder) (DE)	(72) Erfinder: MÜSSIG, Hans-Joachim 01259 Dresden (DE) (74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner  Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE)