(19)
(11) EP 1 664 380 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.06.2005

(43) Veröffentlichungstag:
07.06.2006  Patentblatt  2006/23

(21) Anmeldenummer: 04787104.1

(22) Anmeldetag:  07.09.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/52(1985.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/052063
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/026401 (24.03.2005 Gazette  2005/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB NL

(30) Priorität: 17.09.2003 DE 10342890
03.05.2004 DE 102004021578

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHUMACHER, Marcus
    50171 Kerpen (DE)
  • BAUMANN, Peter
    52072 Aachen (DE)
  • LINDNER, Johannes
    52072 Aachen-Richterich (DE)
  • DESCHLER, Marc
    52074 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk 
Rieder & Partner Anwaltskanzlei Postfach 11 04 51
42304 Wuppertal
42304 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR SCHICHTENABSCHEIDUNG UNTER VERWENDUNG VON NICHT-KONTINUIERLICHER INJEKTION