......DE....FRGB........NL......................................................*XDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 1100000/0 1710000/01664380A220060607EP04787104.12004090720060206dedede1034289020030917DE10200402157820040503DE2006060720062320060607200623C23C 16/52 19850101AFI20050615BHEP deVERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR SCHICHTENABSCHEIDUNG UNTER VERWENDUNG VON NICHT-KONTINUIERLICHER INJEKTIONenMETHOD AND DEVICE FOR DEPOSITING SINGLE COMPONENT OR MULTICOMPONENT LAYERS AND SERIES OF LAYERS USING NON-CONTINUOUS INJECTION OF LIQUID AND DISSOLVED STARTING MATERIAL BY A MULTI-CHANNEL INJECTION UNITfrPROCEDE ET DISPOSITIF POUR DEPOSER DES COUCHES OU DES SERIES DE COUCHES MONOCOMPOSANTS OU MULTICOMPOSANTS PAR INJECTION NON CONTINUE DE SUBSTANCES DE DEPART LIQUIDES OU DISSOUTES AU MOYEN D'UNE UNITE D'INJECTION A PLUSIEURS CANAUXAixtron AG0322625024932N1PCT/EP bKackertstrasse 15-1752072 AachenDESCHUMACHER, MarcusKunibertusstrasse 42a50171 KerpenDEBAUMANN, PeterDellstrasse 3452072 AachenDELINDNER, JohannesBankerfeldstrasse 152072 Aachen-RichterichDEDESCHLER, MarcSchlottfelder Winkel 2152074 AachenDEGrundmann, Dirk00075791Rieder & Partner Anwaltskanzlei Postfach 11 04 5142304 WuppertalDEDEFRGBNLEP200405206320040907deWO20050264012005032420051220050609000000