(19)
(11) EP 1 664 933 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.06.2006  Patentblatt  2006/23

(21) Anmeldenummer: 03755564.6

(22) Anmeldetag:  27.09.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(1968.09)
G21K 1/06(1974.07)
 G02B 17/06(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/010761
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/040925 (06.05.2005 Gazette  2005/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB NL

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • DINGER, Udo
    73447 Oberkochen (DE)
  • EISERT, Frank
    73431 Aalen (DE)
  • KOEHLER, Stefan
    73432 Aalen-Ebnat (DE)
  • OCHSE, Andreas
    73447 Oberkochen (DE)
  • ZELLNER, Johannes
    73447 Oberkochen (DE)
  • LOWISCH, Martin
    73447 Oberkochen (DE)
  • LAUFER, Timo
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Markus 
Lorenz & Kollegen Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) EUV-PROJEKTIONSOBJEKTIV MIT SPIEGELN AUS MATERIALIEN MIT UNTERSCHIEDLICHEM VORZEICHEN DER STEIGUNG DER TEMPERATURABHÄNGIGKEIT DES WÄRMEAUSDEHNUNGSKOEFFIZIENTEN NAHE DER NULLDURCHGANGSTEMPERATUR