(19)

(11)

EP 1 665 342 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 21.07.2005 (43) Veröffentlichungstag: 07.06.2006  Patentblatt  2006/23 (21) Anmeldenummer: 04766746.4 (22) Anmeldetag:  09.09.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/00(1974.07) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/052096 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/031808 (07.04.2005 Gazette  2005/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 26.09.2003 DE 10344767 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: FRENZEL, Henryk 93059 Regensburg (DE)