(19)
(11) EP 1 665 350 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.06.2006  Patentblatt  2006/23

(21) Anmeldenummer: 04786866.6

(22) Anmeldetag:  27.09.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/20(1974.07)
H01L 21/04(1974.07)
 H01L 21/324(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/002153
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/031825 (07.04.2005 Gazette  2005/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.09.2003 DE 10344986

(71) Anmelder:
  • Forschungszentrum Rossendorf e.V.
    01328 Dresden (DE)
  • nanoparc GmbH
    01454 Radeberg OT Rossendorf (DE)
  • UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1
    F-69622 Villeurbanne Cédex (FR)

(72) Erfinder:
  • SKORUPA, Wolfgang
    01108 Dresden (DE)
  • PANKNIN, Dieter
    01277 Dresden (DE)
  • FERRO, Gabriel
    F-69100 Villeurbanne (FR)
  • GEBEL, Thoralf
    01465 Dresden-Langebrück (DE)
  • YANKOV, Rossen
    01097 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Kreutzer, Ulrich 
CBDL Patentanwälte Königstrasse 57
47051 Duisburg
47051 Duisburg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG HETEROEPITAKTISCH GEWACHSENER HALBLEITERSCHICHTEN AUF HALBLEITERSUBSTRATEN, HALBLEITERSUBSTRAT MIT EINER BEHANDELTEN HALBLEITERSCHICHT UND HALBLEITERBAUELEMENT AUS EINEM SOLCHEN HALBLEITERSUBSTRAT