(19)

(11)

EP 1 665 370 A1

(12)

(43) Date de publication: 07.06.2006  Bulletin  2006/23 (21) Numéro de dépôt: 04816197.0 (22) Date de dépôt:  15.09.2004

(51) Int. Cl.:  H01L 21/768(1995.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2004/050435 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/029577 (31.03.2005 Gazette  2005/13)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 16.09.2003 FR 0350547 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeur: LOUIS, Didier F-38500 Coublevie (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)