(19)

(11)

EP 1 665 381 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 06.10.2005 (43) Veröffentlichungstag: 07.06.2006  Patentblatt  2006/23 (21) Anmeldenummer: 04786835.1 (22) Anmeldetag:  23.09.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/02(1974.07) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2004/002119 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/031868 (07.04.2005 Gazette  2005/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT (30) Priorität: 26.09.2003 DE 10344849 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: SOMMER, Michael, Bernhard 83064 Raubling (DE) (74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer  Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)