(19)
(11) EP 1 665 408 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.06.2006  Patentblatt  2006/23

(21) Anmeldenummer: 04764691.4

(22) Anmeldetag:  01.09.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/40(1995.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/009729
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/024972 (17.03.2005 Gazette  2005/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL HR LT LV MK

(30) Priorität: 03.09.2003 DE 10340926

(71) Anmelder: Technische Universität Ilmenau
98684 Ilmenau (DE)

(72) Erfinder:
  • DOLL, Theodor
    55268 Niederolm (DE)
  • SCHEINERT, Susanne
    98683 Unterpörlitz (DE)
  • SCHERER, Axel
     (US)
  • PAASCH, Gernot
    01796 Pirna (DE)

(74) Vertreter: Engel, Christoph Klaus 
Engel Patentanwaltskanzlei Marktplatz 6
98527 Suhl/Thüringen
98527 Suhl/Thüringen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN