(19)
(11) EP 1 668 315 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.06.2006  Patentblatt  2006/24

(21) Anmeldenummer: 04787251.0

(22) Anmeldetag:  29.09.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/25(2000.01)
G01N 21/88(1980.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/052362
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/031251 (07.04.2005 Gazette  2005/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 29.09.2003 DE 10345586

(71) Anmelder: BIAS BREMER INSTITUT FÜR ANGEWANDTE STRAHLTECHNIK
28359 Bremen (DE)

(72) Erfinder:
  • BOTHE, Thorsten
    28213 Bremen (DE)

(74) Vertreter: von Ahsen, Erwin-Detlef et al
von Ahsen, Nachtwey & Kollegen Wilhelm-Herbst-Strasse 5
28359 Bremen
28359 Bremen (DE)

   


(54) OPTISCHES VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN DER STRUKTUR EINER OBERFL CHE