(19)
(11) EP 1 671 359 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.06.2006  Patentblatt  2006/25

(21) Anmeldenummer: 04790166.5

(22) Anmeldetag:  07.10.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/011193
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/036611 (21.04.2005 Gazette  2005/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 08.10.2003 DE 10346667
06.10.2004 DE 102004048691

(71) Anmelder: Steag HamaTech AG
75447 Sternenfels (DE)

(72) Erfinder:
  • KRAUSS, Christian
    75145 Neulingen-Bauschlott (DE)
  • APPICH, Karl
    75447 Diefenbach (DE)
  • SZEKERESCH, Jakob
    75328 Schönberg (DE)
  • DRESS, Peter
    76646 Bruchsal (DE)
  • SCHWERSENZ, Anatol
    74821 Mosbach (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Patent- und Rechtsanwälte Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR RANDREINIGUNG VON SUBSTRATEN