ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK....................................JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2999001/01672681CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120110921W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP04792152.3200410072006041920080718jaenen200334955020031008JP2011092120113820060621200625201105112011192010102820110921201138H01L 21/027 20060101AFI20050427BHEP G03F 7/20 20060101ALI20050427BHEP deBELICHTUNGSGERÄT, SUBSTRATTRAGEVERFAHREN, BELICHTUNGSVERFAHREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VORRICHTUNGenEXPOSURE APPARATUS, SUBSTRATE CARRYING METHOD, EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICEfrAPPAREIL D'EXPOSITION, PROCEDE DE TRANSPORT DE SUBSTRAT, PROCEDE D'EXPOSITION, ET PROCEDE DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIFEP-A- 0 605 103WO-A-99/49504JP-A- 6 124 873JP-A- 6 168 866JP-A- 63 073 628JP-A- 2000 180 371US-A- 5 274 434US-A- 5 444 529US-A1- 2003 013 026US-B1- 6 281 96220080402OHTA, Atsushic/o Zao Nikon Co., Ltd. 20, Aza-shin'Oyoke, Miya, Zao-cho, Katta-gunMiyagi 989-0701JPHORIUCHI, Takashic/o Nikon Corporation, Intellectual Property Department, 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-kuTokyoJPMiyagi Nikon Precision Co., Ltd.101240770114 715 a/scho20, Aza-shin'Oyoke MiyaZao-machi, Katta-gun Miyagi 989-0701JPNIKON CORPORATION101184831114 715 a/scho12-1, Yurakucho 1-chomeChiyoda-ku Tokyo 100-8331JPHOFFMANN EITLE100061036Patent- und Rechtsanwälte Arabellastraße 481925 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPLPTROSESISKTRJP200401485520041007jaWO20050366212005042120051620060621200625