VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG EINER SUBSTRATOBERFLÄCHE UNTER VERWENDUNG EINES PLASMASTRAHLES - Patent 1675971

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EP 1 675 971 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	05.07.2006 Patentblatt 2006/27

(21)	Anmeldenummer: 04786991.2

(22)	Anmeldetag: 23.09.2004

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

C23C 4/04^(1985.01)

C23C 4/12^(1985.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2004/010675

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2005/031026 (07.04.2005 Gazette 2005/14)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorität:

26.09.2003 CH 163903

(71)	Anmelder: Dvorak, Michael
	3602 Thun (CH)

(72)	Erfinder:
	Dvorak, Michael 3602 Thun (CH)

(74)	Vertreter: Luchs, Willi
	Luchs & Partner, Patentanwälte, Schulhausstrasse 12 8002 Zürich 8002 Zürich (CH)

(54)	VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG EINER SUBSTRATOBERFLÄCHE UNTER VERWENDUNG EINES PLASMASTRAHLES