(19)
(11) EP 1 675 972 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.08.2005

(43) Veröffentlichungstag:
05.07.2006  Patentblatt  2006/27

(21) Anmeldenummer: 04765510.5

(22) Anmeldetag:  22.09.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/58(1985.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/010649
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/031030 (07.04.2005 Gazette  2005/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB NL

(30) Priorität: 22.09.2003 DE 10343831

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • VERGÖHL, Michael
    38162 Destedt (DE)
  • PENACHE, Maria-Cristina
    38106 Braunschweig (DE)
  • KLAGES, Claus-Peter
    38102 Braunschweig (DE)
  • HUNSCHE, Berno
    38106 Braunschweig (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG EINER OBERFL CHE