(19)

(11)

EP 1 676 293 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 08.12.2005 (43) Veröffentlichungstag: 05.07.2006  Patentblatt  2006/27 (21) Anmeldenummer: 04765705.1 (22) Anmeldetag:  30.09.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/00(1974.07) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/010916 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/034171 (14.04.2005 Gazette  2005/15)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL HR LT LV MK (30) Priorität: 01.10.2003 DE 10345736 (71) Anmelder: Nägel, Wulf 50999 Köln (DE)	(72) Erfinder: Nägel, Wulf 50999 Köln (DE) (74) Vertreter: von Kirschbaum, Alexander  Patent Attorneys von Kreisler Selting Werner, Deichmannhaus am Dom, Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)