ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK................*JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2990890/0 2999001/01676299KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFTB8B120090819W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP04802641.3200410252006042220060922dedede1034933920031023DE2009081920093420060705200627200907012009272009011920090819200934H01L 21/20 20060101AFI20050511BHEP deKRISTALLZÜCHTUNGSANLAGEenCRYSTAL GROWING UNITfrINSTALLATION DE CRISTALLOGENESEEP-A- 0 628 645DE-A1- 2 107 646US-A- 5 196 085US-A1- 2002 092 461PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 010, Nr. 139 (C-348), 22. Mai 1986 (1986-05-22) & JP 60 264391 A (NIPPON DENKI KK), 27. Dezember 1985 (1985-12-27)PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 010, Nr. 071 (C-334), 20. März 1986 (1986-03-20) & JP 60 210592 A (EMU SETETSUKU KK), 23. Oktober 1985 (1985-10-23)PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 018, Nr. 344 (C-1218), 29. Juni 1994 (1994-06-29) & JP 06 081086 A (HITACHI METALS LTD), 22. März 1994 (1994-03-22)PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 015, Nr. 357 (C-0866), 10. September 1991 (1991-09-10) & JP 03 141187 A (SHIN ETSU CHEM CO LTD), 17. Juni 1991 (1991-06-17)PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 013, Nr. 372 (C-627), 17. August 1989 (1989-08-17) & JP 01 126293 A (TOSHIBA CERAMICS CO LTD), 18. Mai 1989 (1989-05-18)09008527.520090630MÜHE, AndreasFalkenstr.5D-35576 Wetzlar.DEALTEKRÜGER, BurkhardHolunderweg 563755 AlzenauDEVONHOFF, AxelOberweierer Hauptstrasse 1377948 Friesenheim-OberweierDEPVA TePla AG10183910cgs-8-EUIm Westpark 10-1235435 WettenbergDEHebing, Norbert00074174Patentanwalt, Frankfurter Strasse 3461231 Bad NauheimDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPLPTROSESISKTRDE200400237320041025deWO200504127820050506200518