(19)

(11)

EP 1 678 074 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.07.2006  Patentblatt  2006/28 (21) Anmeldenummer: 04802660.3 (22) Anmeldetag:  29.10.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B81B 7/00(2000.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2004/002413 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/042401 (12.05.2005 Gazette  2005/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 29.10.2003 DE 10350460 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: KNECHTEL, Roy 98716 Geraberg (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)