(19)
(11) EP 1 685 591 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.08.2006  Patentblatt  2006/31

(21) Anmeldenummer: 04818752.0

(22) Anmeldetag:  25.10.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/336(2006.01)
 H01L 21/265(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/012031
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/050731 (02.06.2005 Gazette  2005/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
FR

(30) Priorität: 18.11.2003 DE 10353772

(71) Anmelder: austriamicrosystems AG
8141 Unterpremstätten (AT)

(72) Erfinder:
  • LEITNER, Othmar
    A-8042 Graz (AT)
  • MINIXHOFER, Rainer
    A-8141 Unterpremstätten (AT)
  • RÖHRER, Georg
    A-8010 Graz (AT)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRANSISTORSTRUKTUREN MIT LDD