(19)
(11) EP 1 687 843 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.08.2006  Patentblatt  2006/32

(21) Anmeldenummer: 04802772.6

(22) Anmeldetag:  19.11.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/336(2006.01)
 H01L 29/786(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/002559
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/050730 (02.06.2005 Gazette  2005/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 20.11.2003 DE 10354389

(71) Anmelder: Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg
39106 Magdeburg (DE)

(72) Erfinder:
  • BURTE, Edmund
    95512 Neudrossenfeld (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER NANOSKALIGEN HALBLEITERSTRUKTUR UND ZUR HERSTELLUNG VON VERTIKALEN HALBLEITERBAUELEMENTEN AUF DER BASIS DER HALBLEITERSTRUKTUR