(19)

(11)

EP 1 687 846 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.08.2006  Patentblatt  2006/32 (21) Anmeldenummer: 04819243.9 (22) Anmeldetag:  17.11.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/60(2006.01) H01L 21/288(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/052999 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/053012 (09.06.2005 Gazette  2005/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR IT (30) Priorität: 29.11.2003 DE 10355953 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: HELNEDER, Johann 85652 Landsham (DE) TORWESTEN, Holger 85579 Neubiberg (DE) (74) Vertreter: Kindermann, Peter et al Kindermann Patentanwälte Postfach 100234 D-85593 Baldham D-85593 Baldham (DE)