HERSTELLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN MIT VERGRABENEN SCHICHTEN DURCH VERBINDEN VON HALBLEITERSCHEIBEN (BONDEN) - Patent 1687849

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EP 1 687 849 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	09.08.2006 Patentblatt 2006/32

(21)	Anmeldenummer: 04802847.6

(22)	Anmeldetag: 29.11.2004

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/762^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE2004/002638

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2005/053018 (09.06.2005 Gazette 2005/23)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorität:

28.11.2003 DE 10355728

(71)	Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
	99097 Erfurt (DE)

(72)	Erfinder:
	KNECHTEL, Roy 98716 Geraberg (DE) LENZ, Andrej 84529 Tittmoning (DE)

(74)	Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al
	Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)

(54)	HERSTELLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN MIT VERGRABENEN SCHICHTEN DURCH VERBINDEN VON HALBLEITERSCHEIBEN (BONDEN)