(19)
(11) EP 1 690 291 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.07.2005

(43) Veröffentlichungstag:
16.08.2006  Patentblatt  2006/33

(21) Anmeldenummer: 04762759.1

(22) Anmeldetag:  05.09.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/465(2006.01)
 C25F 3/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001976
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/031846 (07.04.2005 Gazette  2005/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 21.09.2003 DE 10344315

(71) Anmelder: Hahn-Meitner-Institut GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • BERENGUIER, Baptiste
    F-13500 Martigues (FR)
  • LEWERENZ, Hans-Joachim
    14109 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Rudolph, Margit 
Gemeinsamer Patentservice, Hausvogteiplatz 5-7
10117 Berlin
10117 Berlin (DE)

   


(54) ELEKTROCHEMISCHES TZVERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ENTFERNEN VON FREMDPHASEN AN DER OBERFLÄCHE EINES SULFIDHALTIGEN CHALKOPY RITHALBLEITERS