(19)
(11) EP 1 691 939 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.08.2006  Patentblatt  2006/34

(21) Anmeldenummer: 04702310.6

(22) Anmeldetag:  15.01.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B08B 7/00(2006.01)
B01D 24/00(2006.01)
 C23C 16/44(2006.01)
H01L 21/3213(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/000250
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/061132 (07.07.2005 Gazette  2005/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 11.12.2003 DE 10358275

(71) Anmelder: Wiessner GmbH
95448 Bayreuth (DE)

(72) Erfinder:
  • HEPPER, Dr. Ronald
    95511 Mistelbach (DE)
  • KALLEE, Klaus
    06188 Landsberg (DE)

(74) Vertreter: Schröer, Gernot H. et al
Meissner, Bolte & Partner GbR Bankgasse 3
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM REINIGEN WENIGSTENS EINER PROZESSKAMMER ZUM BESCHICHTEN WENIGSTENS EINES SUBSTRATS