(19)
(11) EP 1 697 797 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.10.2005

(43) Veröffentlichungstag:
06.09.2006  Patentblatt  2006/36

(21) Anmeldenummer: 04797770.7

(22) Anmeldetag:  10.11.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/012707
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/059653 (30.06.2005 Gazette  2005/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 26.11.2003 US 721378

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • TOTZECK, Michael
    73525 Schwäbisch-Gmünd (DE)
  • ENKISCH, Birgit
    73431 Aalen (DE)
  • SCHUSTER, Karl-Heinz
    89551 Königsbronn (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Postfach 10 40 36
70035 Stuttgart
70035 Stuttgart (DE)

   


(54) POLARISATIONSOPTISCH WIRKSAME VERZÖGERUNGSANORDNUNG FÜR EINE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE DER MIKROLITHOGRAFIE