(19)
(11) EP 1 698 043 A1

(12)

(43) Date de publication:
06.09.2006  Bulletin  2006/36

(21) Numéro de dépôt: 04816606.0

(22) Date de dépôt:  23.12.2004
(51) Int. Cl.: 
H02N 1/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2004/050759
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/069473 (28.07.2005 Gazette  2005/30)
(84) Etats contractants désignés:
DE FR GB IT

(30) Priorité: 26.12.2003 FR 0351211

(71) Demandeurs:
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ( CEA)
    75015 Paris (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) Etablissement Public à Caractère Scientifique et Technologique
    75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • CHARTON, Julien
    F-38190 Brignoud (FR)
  • DIVOUX, Claire
    F-38000 GRENOBLE (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard et al
Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) COMPOSANTS MEMS ELECTROSTATIQUES PERMETTANT UN DEPLACEMENT VERTICAL IMPORTANT