(19)
(11)
EP 1 700 343 A1
(12)
(43)
Date de publication:
13.09.2006
Bulletin 2006/37
(21)
Numéro de dépôt:
04820955.5
(22)
Date de dépôt:
18.11.2004
(51)
Int. Cl.:
H01L
27/146
(2006.01)
H01L
21/768
(2006.01)
(86)
Numéro de dépôt:
PCT/EP2004/053003
(87)
Numéro de publication internationale:
WO 2005/067054
(
21.07.2005
Gazette 2005/29)
(84)
Etats contractants désignés:
DE FI FR GB IT NL
(30)
Priorité:
12.12.2003
FR 0314595
(71)
Demandeur:
Atmel Grenoble
38521 Saint Egrève Cedex (FR)
(72)
Inventeur:
BLANCHARD, Pierre
94117 Arcueil Cedex (FR)
(74)
Mandataire:
Guérin, Michel
Marks & Clerk France 31-33 Avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cédex
94117 Arcueil Cédex (FR)
(54)
PROCEDE DE FABRICATION DE PUCES ELECTRONIQUES EN SILICIUM AMINCI