(19)
(11) EP 1 700 343 A1

(12)

(43) Date de publication:
13.09.2006  Bulletin  2006/37

(21) Numéro de dépôt: 04820955.5

(22) Date de dépôt:  18.11.2004
(51) Int. Cl.: 
H01L 27/146(2006.01)
H01L 21/768(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2004/053003
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/067054 (21.07.2005 Gazette  2005/29)
(84) Etats contractants désignés:
DE FI FR GB IT NL

(30) Priorité: 12.12.2003 FR 0314595

(71) Demandeur: Atmel Grenoble
38521 Saint Egrève Cedex (FR)

(72) Inventeur:
  • BLANCHARD, Pierre
    94117 Arcueil Cedex (FR)

(74) Mandataire: Guérin, Michel 
Marks & Clerk France 31-33 Avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cédex
94117 Arcueil Cédex (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION DE PUCES ELECTRONIQUES EN SILICIUM AMINCI