(19)
(11) EP 1 702 087 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.03.2005

(43) Veröffentlichungstag:
20.09.2006  Patentblatt  2006/38

(21) Anmeldenummer: 04738592.7

(22) Anmeldetag:  03.06.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/50(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001138
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/108977 (16.12.2004 Gazette  2004/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE IT LI

(30) Priorität: 03.06.2003 DE 10324928

(71) Anmelder: Leybold Optics GmbH
63775 Alzenau (DE)

(72) Erfinder:
  • ZÜLTZKE, Walter
    63477 Maintal (DE)
  • FUHR, Markus
    65817 Eppstein (DE)

(74) Vertreter: Pohlmann, Bernd Michael 
Patentanwalt Günthersburgallee 40
60316 Frankfurt am Main
60316 Frankfurt am Main (DE)

   


(54) VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE UND EIN VERFAHREN ZUM ZONENWEISE BESCHICHTEN VON BRILLENGL SERN