(19)
(11) EP 1 703 547 B8

(12) FASCICULE DE BREVET EUROPEEN CORRIGE
Avis: La bibliographie est mise à jour

(15) Information de correction:
Version corrigée no  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum publié le:
14.03.2012  Bulletin  2012/11

(45) Mention de la délivrance du brevet:
14.09.2011  Bulletin  2011/37

(21) Numéro de dépôt: 06300207.5

(22) Date de dépôt:  07.03.2006
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/00(2006.01)

(54)

Procédé et dispositif pour le contrôle de la contamination des plaquettes de substrat

Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Verunreinigung von Wafersubstraten

Method and device for controlling the contamination of wafer substrates

(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 18.03.2005 FR 0550703

(43) Date de publication de la demande:
20.09.2006  Bulletin  2006/38

(73) Titulaire: Adixen Vacuum Products
74009 Annecy (FR)

(72) Inventeurs:
  • Favre, Arnaud
    74000, ANNECY (FR)
  • Thollot, Rémi
    74350, CRUSEILLES (FR)
  • Metais, Xavier
    74960 Meythet (FR)
  • Desbiolles, Jean-Pierre
    74350, CRUSEILLES (FR)

(74) Mandataire: Croonenbroek, Thomas Jakob 
Cabinet Innovincia 11, avenue des Tilleuls
74200 Thonon-les-Bains
74200 Thonon-les-Bains (FR)


(56) Documents cités: : 
DE-A1- 10 133 520
US-A1- 2004 023 419
 US-A- 5 233 191
US-B1- 6 287 023
   
       
    Il est rappelé que: Dans un délai de neuf mois à compter de la date de publication de la mention de la délivrance de brevet européen, toute personne peut faire opposition au brevet européen délivré, auprès de l'Office européen des brevets. L'opposition doit être formée par écrit et motivée. Elle n'est réputée formée qu'après paiement de la taxe d'opposition. (Art. 99(1) Convention sur le brevet européen).